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トリクロロシラン気化供給装置（TCSarver）
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特 許 出 願 済 ■■■
EP成長装置3ch用 W600xD600xH2100
 
 
本トリクロロシラン気化供給装置はエピタキシャルシリコン成長装置（以下Epi装置）に接続して使用します。
TYPE
Basic0-1…..Epi装置1台(1チャンバー)用
Basic0-3…..Epi装置3台(3チャンバー)用
構成は蒸発器と凝縮器とからなる単蒸留装置そのもので、これに精密な定圧制御装置を付加し、高度に濃度制御されたトリクロロシラン水素混合ガス（以下TCS / H2）を発生させます。
本装置の大きな特徴は、
１． 複数台接続されたEpi装置或いは複数チャンバーが任意のタイミングで稼働しても、装置間或いはチャンバー間への影響は極めて小さい。
２． TCS/H2濃度の繰り返し安定性が高く、従ってEpi成長速度がバッチ間で非常に安定している。
３． 蒸発器が圧力容器とならない、非常にコンパクトなものである。
４． 装置内に滞留するTCSの量が指定数量の1/5に満たず、少量危険物基準以下である。
本装置は典型的には、0.07〜0.18MPa(G)で16%〜38%TCS/H2の範囲で調整可能であり、既存のラインのリプレースも問題ありません。
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Basic0-1 / Basic0-3
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Basic1〜Basic3
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TCS/H2供給能力
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1ch / 3ch用
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50〜350gTCS/min
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装置形態
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シリンダーキャビネット収容
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専用室（危険物一般取扱所）
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構成
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蒸発器; SUS316L
ジャケット式熱交換器/シェルアンドチューブ型熱交換器
凝縮器; SUS316L
シェルアンドチューブ型熱交換器
定圧制御機器
不活性溶媒恒温循環装置
Basic0の場合、補充TCSは加圧供給を受けるものとします。
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運転条件
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制御圧力; 0.07〜0.18MPa(G)、Typ.0.15MPa(G)
蒸発器温度; 25℃〜40℃の任意温度、Typ.30℃(Basic0)
凝縮器温度; 10℃〜20℃の任意温度、Typ.15℃
発生混合気濃度; 上記条件の組合せで16〜38% 、Typ.22％
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運転モード
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手動モード
自動立上モード
自動供給モード
自動立下モード
メンテナンスモード
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消防法
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適用外
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本装置に滞留するTCSは指定数量の1/5以下
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少量
危険物
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危険物
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規模により指定数量を超えるものもある。
→危険物一般取扱所への設置が必要
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労働安全衛生法
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適用外
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PV≦0.001
P: MPa（制御圧力）
V: m3（蒸発器容積）
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適用外
（簡易）容器
小型圧力容器
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PV≦0.001
PV≦0.004
PV≦0.02
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高圧ガス保安法
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届出
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